В России объявили о разработке первой отечественной установки литографии, на которой будет возможно изготовление 7-нанометровых чипов. Для понимания размера — на срезе волоса можно разместить почти 1,5 млн современных транзисторов сделанных по 7-нанометровому техпроцессу. На разработку отвели 6 лет, заниматься созданием «Альфа-машины» будут специалисты Института прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) в Нижнем Новгороде. Об этом сообщается на сайте «Стратегия развития Нижегородской области».
В публикации справедливо отмечено, что литограф — наиболее сложный и дорогостоящий элемент любого микроэлектронного производства. Там также сказано, что литограф для изготовления 7-нм чипов появится в России к 2028 году. Планируется создать установку на рентгеновском источнике излучения (а не ультрафиолетовом), который требует абсолютной гладкости элементов до 1 ангстрема — это одна десятимиллионная доля миллиметра.
«По сравнению, например, с литографами ведущего мирового производителя из Нидерландов — ASML, в нижегородской модели источник излучения в разы компактнее и чище в работе, что в конечном итоге значительно влияет на стоимость, размеры и сложность оборудования. Оптическая же система демонстратора, произведенная в ИФМ РАН, вообще превосходит все аналоги, существующие в мире на сегодняшний день», — сообщается в публикации.
На данный момент в мире производить 7-нм транзисторы могут всего несколько компаний — это Samsung, тайваньская TSMC и китайская SMIC, работающие на оборудовании нидерландской компании ASML. Российская установка будет в 1,5–2 раза эффективнее голландской, говорится в нижегородской публикации со ссылкой на ученых.
ASML является крупнейшим в мире поставщиком литографических сканеров, которые необходимы для выпуска всей полупроводниковой продукции. 15 октября стало известно, что из-за американских санкций ASML прекращает поставки оборудования Китаю. Свое оборудование у Китая только сейчас вышло на производство 28-нм транзисторов, отметил в беседе с The Insider инженер — разработчик микросхем в аэрокосмической отрасли.
В России с производством полупроводников ситуация неутешительная уже много лет. Из отечественных процессоров существуют только «Байкалы» и «Эльбрусы». Были образцы «Эльбрус-2СМ» по 90-нм техпроцессу. Новые процессоры, которые проектировали под 28-нм техпроцесс, заказывали уже у тайваньской TSMC. Позже под влиянием США Тайвань отказался от всех заказов для РФ. В России есть два предприятия, которые производят чипы: Crocus Nano Electronics и Микрон. Однако предел — 90-нм техпроцесс, ниже этого показателя никто ничего не производит.
По словам собеседника The Insider, шесть лет — это нереальный срок. «Времени надо в пять раз больше, денег в сто раз больше. ИПФ — вполне известный и уважаемый НИИ, но скажем, Китай уже лет десять такие технологии развивает при фактически неограниченных бюджетах, и результата пока нет, вот буквально в этом году освоили 28 нм, которые несравненно проще, чем 7 нм».
До создания непосредственно чипов России тоже очень далеко, так как этот процесс требует не только наличия литографов, но и множества вспомогательного оборудования, например, станков для изготовления масок (трафареты для литографии), также необходимо ПО. Фактически у России сейчас нет производства современных чипов, как и «станков» для их создания, даже для производства линз проявителя на фоторезисте.
И производство чипов, и производство литографов — очень дорогой процесс. Наиболее дорогостоящая в литографах оптика. В 2021 году расходы ASML на исследования и производство достигли 2,5 млрд евро в год. По состоянию на 2014 год, разработка EUV-литографов уже обошлась компании в 14 миллиардов.
Фактически проект может повторить участь российского среднемагистрального самолета МС-21, запустить производство которого обещают с 2017 года, выделяя практически ежегодно миллиарды рублей. В 2013-м году Роснано вложило 40 млн евро в компанию Mapper Lithography, основным условием было, «что завод будет построен в России», рассказывали участники процесса. В 2018 компания была признана банкротом, а интеллектуальные права выкуплены ASML.
